平面电容传感器热障涂层缺陷检测系统

• 作者: 代守强 任远 周卫红 潘孟春 田武刚 陈棣湘
• 来源期刊: 中国测试
• 关键词: 平面电容 热障涂层 复导纳 缺陷检测
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 所属期刊栏目: 测试方法 -- 测试仪器
• 页码范围: 78-83
• 页数: 6页
• 字数: 3235字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11857/j.issn.1674-5124.2017.01.017

摘要

为有效检测热障涂层的缺陷，研究基于平面电容传感器的缺陷检测系统。该文对用于热障涂层缺陷检测的平面电容传感器的工作原理进行分析，结合热障涂层的结构，利用COMSOL有限元仿真软件对传感器结构进行优化设计，设计微小电容检测电路，并通过复导纳的方法提取检测信息，搭建热障涂层缺陷检测系统，并对系统的性能进行测试。实验测试中对3种不同厚度的氧化铝陶瓷片进行复导纳的检测，通过对检测结果进行数据分析更易区分不同厚度的陶瓷片，即基于平面电容传感器的缺陷检测系统可以有效检测出热障涂层的厚度变化缺陷。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈棣湘		87	694	14.0	22.0
2	潘孟春		150	1381	19.0	30.0
3	周卫红		12	153	7.0	12.0
4	田武刚		18	93	6.0	8.0
5	代守强		2	5	2.0	2.0
6	任远		3	5	2.0	2.0