硅微谐振加速度计的研究现状及发展趋势

• 作者: 徐宇新 杨博 胡启方 阚宝玺
• 来源期刊: 导航与控制
• 学科: 交通运输
• 关键词: 硅微谐振加速度计 晶圆级封装 测控电路 温度补偿
• 年，卷（期）: 2017,（4）
• 所属期刊栏目: 综述与动态
• 页码范围: 96-106
• 页数: 11页
• 分类号: U666.1
• 字数: 7316字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2017.04.017

摘要

硅微谐振加速度计具有体积小、 功耗低、 准数字量输出和精度提升大的优点,是一种具有良好应用前景的高精度MEMS惯性仪表.总结分析了近些年国内外在硅微谐振加速度计方面的研究现状,主要在结构设计及工艺、 测控电路设计等方面阐述了各自特点.最后,结合近些年MEMS惯性仪表的发展趋势,对硅微谐振加速度计晶圆级真空封装、 测控电路数字化、仪表补偿智能化3个发展方向进行了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐宇新		12	15	2.0	3.0
2	胡启方		6	23	3.0	4.0
3	杨博		1	5	1.0	1.0
4	阚宝玺		4	10	2.0	3.0