粉末靶脉冲磁控溅射制备CrB MoS固体润滑硬质涂层

• 作者: 周艳文 王亚男 王晓明 解志文 赵志伟 高键波
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 脉冲磁控溅射 粉末靶 固体润滑涂层 硬质涂层
• 年，卷（期）: 2017,（11）
• 所属期刊栏目: 结构薄膜
• 页码范围: 1080-1085
• 页数: 6页
• 分类号: TG156.88|TB114.2
• 字数: 3671字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2017.11.09

摘要

粉末靶封闭非平衡磁场脉冲磁控溅射是一种方便靶材配比、节约靶材成本的高效磁控溅射工艺,其特点是将固体粉末按成分需求配比,直接作为磁控靶体.CrB2则因其高硬度而常被作为硬质耐磨材料使用,MoS2因其低摩擦系数常作为固体润滑剂使用.本研究则将CrB2和MoS2两种粉末按Cr:Mo原子比1:1混合,利用粉末靶封闭非平衡磁场脉冲磁控溅射系统在304不锈钢表面制备硬质固体润滑涂层,探讨脉冲频率对CrBMoS涂层结构及性能的影响.用示波器测量靶电位曲线,分别用扫描电子显微镜、X射线衍射分析涂层形貌及相结构,表面形貌轮廓仪测量涂层厚,纳米压痕仪检测涂层纳米硬度,划痕仪测量涂层结合力及摩擦磨损实验机测量涂层摩擦系数.结果表明,在脉冲"开-关"状态转换时,靶电位由"负"转"正"过程中,"正"电位突升.随脉冲频率增高,涂层的沉积速率降低,沉积速率与有效沉积时间因子成正比.涂层致密、无缺陷,涂层晶体择优取向分别为CrB2(111)及MoS2(200).涂层纳米硬度最高可达19 GPa,摩擦系数最小低至0.02.结果表明粉末靶封闭非平衡脉冲磁控溅射法制备的CrBMoS涂层具有较高硬度的同时,还具有良好的固体润滑效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王亚男	辽宁科技大学表面工程研究所	30	49	4.0	5.0
2	王晓明	辽宁科技大学表面工程研究所	13	15	3.0	3.0
3	周艳文	辽宁科技大学表面工程研究所	46	32	3.0	5.0
4	赵志伟	辽宁科技大学表面工程研究所	2	0	0.0	0.0
5	解志文	辽宁科技大学表面工程研究所	15	31	3.0	5.0
6	高键波	辽宁科技大学表面工程研究所	1	0	0.0	0.0