基于白光LED的光谱共焦位移传感器

• 作者: 刘国栋 刘炳国 王津楠 甘雨 陈凤东
• 来源期刊: 中国测试
• 关键词: 位移传感器 光谱共焦 色散镜头 光纤耦合器
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 所属期刊栏目: 测试方法 -- 测试仪器
• 页码范围: 69-73
• 页数: 5页
• 字数: 2417字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11857/j.issn.1674-5124.2017.01.015

摘要

为实现光谱共焦位移传感器的小型化、低功耗和高精度，在设计过程中选择体积小、耗电量小的白光LED作为传感器的光源，并使用光纤耦合器代替复杂的分光棱镜式光学系统结构。色散镜头采用消色差透镜与非球面透镜组合的方式，在使用较少透镜数量的情况下达到较好的像差校正能力。同时结合光强归一化等数据处理方法，消除白光LED光源光谱光强分布不均匀等因素对测量精度造成的影响，得到准确、稳定的峰值波长与位置间的对应关系。通过双频激光干涉仪对系统进行标定和测量，实验结果表明使用435～655 nm波段，系统测量范围可以达1.7 mm，平均测量精度1.8μm，满足一定的测量需求。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘国栋	哈尔滨工业大学光电信息测控技术与装备研究所	79	1002	15.0	28.0
2	刘炳国	哈尔滨工业大学光电信息测控技术与装备研究所	23	197	9.0	13.0
3	陈凤东	哈尔滨工业大学光电信息测控技术与装备研究所	24	423	12.0	20.0
4	甘雨	哈尔滨工业大学光电信息测控技术与装备研究所	4	23	3.0	4.0
5	王津楠	哈尔滨工业大学光电信息测控技术与装备研究所	1	14	1.0	1.0