CrAlYN纳米多层薄膜的微观结构和抗高温氧化性能研究

• 作者: 巫少龙 楼白杨 王宇星
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: CrAlYN纳米多层薄膜 磁控溅射 微观结构 高温氧化
• 年，卷（期）: 2017,（11）
• 所属期刊栏目: 功能薄膜
• 页码范围: 1075-1079
• 页数: 5页
• 分类号: TG174
• 字数: 2541字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2017.11.08

摘要

采用非平衡磁控溅射离子镀技术在M2工具钢和单晶Si表面沉积不同Y含量的CrAlYN纳米多层薄膜,并在静态空气中进行1000℃的高温氧化实验.透射电子显微镜、扫描电镜、X射线衍射、能量色散谱、纳米压痕和划痕实验等研究结果表明:CrAlYN纳米多层薄膜呈现fcc晶体结构,调制周期为CrN/YN+AlN/CrN/AlN.CrAlYN纳米多层薄膜的抗高温氧化性能随着Y含量提高呈现先提高后下降的趋势,Y含量为1.13%(原子比)时,薄膜表现出最优的力学性能,当Y含量增加到2.67%时,薄膜的力学性能明显下降.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	巫少龙	衢州职业技术学院机电工程学院	43	122	5.0	10.0
2	楼白杨	浙江工业大学材料科学与工程学院	54	234	9.0	12.0
3	王宇星	浙江工业大学材料科学与工程学院	15	10	2.0	2.0