基于RFID的数字化掩模制造

• 作者: 丁晗 张鹏 沈天翊 胡超
• 来源期刊: 电子与封装
• 学科: 工学
• 关键词: 掩模数字化生产 全生命周期管理
• 年，卷（期）: 2017,（8）
• 所属期刊栏目: 产品、应用与市场
• 页码范围: 44-48
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 4477字
• 语种: 中文

摘要

介绍了中微掩模智能化生产系统,提出了利用RFID技术实现对掩模版制造流程的智能化管理.利用智能化生产系统提高了和客户之间的交互性,利用智能货柜系统实现了掩模版私有云制造.依托现有智能生产管理系统,提出了集成电路全产业链智能制造的概念.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡超		5	11	2.0	3.0
2	张鹏		3	0	0.0	0.0
3	丁晗		1	0	0.0	0.0
4	沈天翊		1	0	0.0	0.0