单点金刚石飞切KDP晶体表面缺陷深度的研究

• 作者: 冉钰庭 尹进 朱健强 黄宏彪
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 非线性光学 缺陷深度估测 飞切加工 磷酸二氢钾晶体 高效率切削
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 所属期刊栏目: 表面光学
• 页码范围: 20-26
• 页数: 7页
• 分类号: TH161|TG84
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/gzxb20174605.0524001

摘要

基于印压断裂力学理论分析了磷酸二氢钾晶体表面缺陷面积与中位裂纹深度的关系.在刀具参量和主轴转数一定的情况下,采用不同切削深度和进给速率对磷酸二氢钾晶体进行单点金刚石飞切加工实验,并计算晶体表面单位面积缺陷的占比系数.实验结果表明,晶体表面缺陷深度与面积占比系数成正相关,与理论分析结果相符,进而提出了利用计算晶体表面缺陷占比系数估测缺陷深度的方法.最后基于该方法得到高效率切削步骤,并加工获得了表面粗糙度算术平均值优于5 nm的超光滑晶体表面.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱健强	中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室	147	1132	17.0	31.0
3	黄宏彪	中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室	4	26	3.0	4.0
4	尹进	中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室	3	7	1.0	2.0
8	冉钰庭	中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室	2	7	1.0	2.0