介质/金属/介质透明导电薄膜研究进展

• 作者: 万磊 何金俊 刘丽华 张康 方应翠 李欢欢 褚向前
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 介质/金属/介质多层膜 透明导电薄膜 透明氧化物 光电性能
• 年，卷（期）: 2017,（11）
• 所属期刊栏目: 功能薄膜
• 页码范围: 1067-1074
• 页数: 8页
• 分类号: O484.4|O485|O437.3|TB79
• 字数: 4387字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2017.11.07

摘要

介质/金属/介质(dielectric/metal/dielectric,D/M/D)多层膜既透明又导电且具有柔性,最有可能替代ITO膜,作为透明导电电极,应用于柔性显示、太阳能电池等光电器件.本文介绍D/M/D膜系的起源,分析了透明导电机理,然后,从多层膜制备参数,热处理工艺及纳米银层表面等离激元共振对多层膜光电性能的影响三个方面综述了D/M/D膜系中得到广泛研究的二氧化钛/银/二氧化钛多层膜的最新研究进展,并展望了D/M/D透明导电薄膜的研究方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	方应翠	合肥工业大学真空与过程装备系	23	313	8.0	17.0
2	张康	合肥工业大学真空与过程装备系	12	37	4.0	6.0
3	褚向前	合肥工业大学真空与过程装备系	17	59	4.0	7.0
4	刘丽华	合肥工业大学材料科学与工程学院	11	61	5.0	7.0
5	李欢欢	合肥工业大学真空与过程装备系	4	12	2.0	3.0
6	万磊	合肥工业大学电气自动化学院	6	27	3.0	5.0
7	何金俊	合肥工业大学真空与过程装备系	1	6	1.0	1.0