光栅尺测量精度误差补偿系统研究

• 作者: 李彬 王晗 陈新 陈新度 黄明辉
• 来源期刊: 组合机床与自动化加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 直线光栅尺 误差补偿 精度检测 数显系统
• 年，卷（期）: 2017,（12）
• 所属期刊栏目: 控制与检测
• 页码范围: 81-84
• 页数: 4页
• 分类号: TH165|TG659
• 字数: 2065字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13462/j.cnki.mmtamt.2017.12.020

摘要

文章主要研究影响光栅尺测量精度的因素,探索提高测量精度的途径.通过研究影响光栅尺测量精度的因素分析了其静态误差模型;然后,通过设计可调的光栅尺误差检测平台并结合优化的测量方案对各个测量点进行了大量的误差检测,并分析了各个测量点测量误差的统计特性,再对检测结果进行正态分布检验,获得了较为准确真实的光栅尺测量误差曲线,验证了其静态误差模型;最终在光栅尺数显系统分别采用全程线性补偿及分段线性补偿方法对光栅尺测量误差进行修正.实验结果经第三方计量机构检测表明:经一次全程线性补偿后,在直线光栅尺90 mm测量长度内,测量精度由0~19.42μm提高到-3.26~1.32μm,经二次分段线性补偿后,测量精度提高到-1.453~0.9332μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈新	广东工业大学广东省微纳加工技术与整备重点实验室	205	2400	22.0	38.0
2	陈新度	广东工业大学广东省微纳加工技术与整备重点实验室	163	1019	15.0	22.0
3	王晗	广东工业大学广东省微纳加工技术与整备重点实验室	55	198	8.0	11.0
4	黄明辉	广东工业大学广东省微纳加工技术与整备重点实验室	4	10	2.0	3.0
5	李彬	广东工业大学广东省微纳加工技术与整备重点实验室	5	19	4.0	4.0