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文献信息
篇名 光刻技术的历史与现状
来源期刊 科学(上海) 学科
关键词 激光光刻 大规模集成电路 短波长激光器
年,卷(期) 2017,(3) 所属期刊栏目 前沿
研究方向 页码范围 32-36
页数 5页 分类号
字数 7178字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 袁志军 中国科学院上海光学精密机械研究所 9 59 5.0 7.0
2 张海波 中国科学院上海光学精密机械研究所 38 455 12.0 20.0
3 楼棋洪 中国科学院上海光学精密机械研究所 2 18 1.0 2.0
传播情况
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引文网络
引文网络
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研究主题发展历程
节点文献
激光光刻
大规模集成电路
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研究起点
研究来源
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
科学(上海)
双月刊
0368-6396
31-1385/N
上海钦州南路71号
chi
出版文献量(篇)
2297
总下载数(次)
11
总被引数(次)
4588
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