水膜吸附夹持方式在蓝宝石抛光中的可行性研究

• 作者: 杭伟 袁巨龙 赵天晨 陈振华 陈芝向 高涛
• 来源期刊: 机电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 蓝宝石 抛光 夹持方式 水膜吸附夹持
• 年，卷（期）: 2017,（11）
• 所属期刊栏目: 机械、仪表技术
• 页码范围: 1259-1263
• 页数: 5页
• 分类号: TH16|TG680
• 字数: 3966字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4551.2017.11.006

摘要

针对目前蓝宝石抛光加工中所使用的石蜡粘贴夹持方式和抛光抛光吸附垫吸附夹持方式在抛光质量和成本等方面所存在的问题,提出了水膜吸附夹持方式,对水膜吸附环境下,吸附表面对蓝宝石晶片的法向吸附力和切向吸附力进行了测量,并分别与抛光吸附垫对蓝宝石晶片的法向吸附力和切向吸附力进行了比较,将切向吸附力作为主要评价指标,判断在蓝宝石晶片抛光加工中使用水膜吸附夹持方式的可行性.实验结果表明:单从吸附能力的层面考虑,在蓝宝石晶片抛光加工中使用水膜吸附夹持方式是可行的;45#钢比玻璃更适合作为吸附表面材料;确定吸附表面的粗糙度时应考虑蓝宝石晶片的表面粗糙度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杭伟	浙江工业大学超精密加工研究中心	12	8	2.0	2.0
2	高涛	浙江工业大学超精密加工研究中心	7	96	4.0	7.0
3	陈振华	浙江工业大学超精密加工研究中心	4	73	2.0	4.0
4	赵天晨	浙江工业大学超精密加工研究中心	4	5	2.0	2.0
5	陈芝向		1	1	1.0	1.0
6	袁巨龙		1	1	1.0	1.0