石墨烯/金属接触研究进展

• 作者: 李梅 粟雅娟 贾昆鹏 闫祥宇 韦亚一 马源骏
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 石墨烯 金属 面接触 边缘接触 欧姆接触 二维材料
• 年，卷（期）: 2017,（11）
• 所属期刊栏目: 材料与结构
• 页码范围: 745-751
• 页数: 7页
• 分类号: TN304.18
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2017.11.004

摘要

石墨烯/金属接触是石墨烯应用在集成电路领域的一个重要问题,按照其接触方式的不同,介绍了近年来关于石墨烯/金属接触的研究,主要分析了面接触与边缘接触的接触机理以及不同接触方式的器件结构,比较了各种接触方式的优劣.由于金属与石墨烯的电流主要通过边缘传输,通过在石墨烯与金属的接触界面引入边缘接触,增加了电流流经的路径,从而减小石墨烯与金属的接触电阻率.最后总结出边缘接触是最可能优化其接触电阻率的技术方案,并展望了石墨烯/金属接触的研究前景.