多电极石英力敏谐振器的力敏特性及稳定性研究

• 作者: 田文杰 赵庆江 陈福彬 雷欧 马博
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 多电极石英谐振器 力敏特性 频率稳定性
• 年，卷（期）: 2017,（6）
• 页码范围: 865-868
• 页数: 4页
• 分类号: TN389
• 字数: 1705字
• 语种: 中文

摘要

在分析石英晶片受力作用时晶片内应力分布的基础上,设计了一种多电极新型石英力敏谐振器及信号处理电路.在室温及大气状态下对设计的力敏谐振器同时进行激励时,各对电极对应的谐振器的力-频特性线性度及频率稳定性良好.将各谐振器的频率互作差频,再作叠加处理后,输出的频率信号的力-频系数达到2 951.8 Hz/N,线性相关度为0.999 7,频率稳定性可达10-10数量级.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田文杰	北京信息科技科技大学传感器重点实验室	37	158	6.0	11.0
2	陈福彬	北京信息科技科技大学传感器重点实验室	22	132	5.0	11.0
3	赵庆江	昆明学院物理科学与技术系	5	14	2.0	3.0
4	马博	北京信息科技科技大学传感器重点实验室	1	1	1.0	1.0
5	雷欧	北京信息科技科技大学传感器重点实验室	2	2	1.0	1.0