LED蓝宝石衬底抛光表面原子台阶形貌及其周期性研究

• 作者: 史晓磊 周艳 汤皎宁 潘国顺 邹春莉 龚桦
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 化学机械抛光 蓝宝石 原子台阶形貌
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 100-106
• 页数: 7页
• 分类号: TH161+.14
• 字数: 1469字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20172501.0100

摘要

LED蓝宝石衬底的表面质量会极大影响到后续外延质量,进而影响到LED器件性能.蓝宝石研磨片经Al2O3磨粒粗抛液、SiO2磨粒精抛液下进行化学机械抛光(CMP),最终表面经原子力显微镜(AFM)所测表面粗糙度达到0.101 nm,获得亚纳米级粗糙度超光滑表面,并呈现出原子台阶形貌.同时,通过使用Zygo表面形貌仪、AFM观察蓝宝石从研磨片经A12O3粗抛液、SiO2精抛液抛光后的表面变化,阐述蓝宝石表面原子台阶形貌的形成原因,提出蓝宝石原子级超光滑表面形成的CMP去除机理.通过控制蓝宝石抛光中的工艺条件,获得a-a型、a-b型两种不同周期规律性的台阶形貌表面,并探讨不同周期规律性台阶形貌的形成机理.