光阴极直流高压电子枪的极高真空系统

• 作者: 刘佰奇 彭晓华 李小平 王九庆
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 光阴极电子枪 极高真空 陶瓷真空盒
• 年，卷（期）: 2017,（11）
• 所属期刊栏目: 真空技术与理论
• 页码范围: 1033-1037
• 页数: 5页
• 分类号: O462.3
• 字数: 1923字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2017.11.01

摘要

设计了一套用于光阴极直流高压电子枪的极高真空系统.首先对电子枪真空腔室的钛阳极、阴极和高压陶瓷分别进行表面处理及烘烤除气后确定材料表面放气率,然后对真空室压强进行模拟计算并确定配泵方案,最后在现场组装、检漏后对真空系统进行调试.调试过程中为了保证不能被直接加热的内部阴极杆在烘烤时充分除气,使用ANSYS-Fluent软件的S2S辐射模型对烘烤过程进行模拟并确定烘烤温度与时间.经过真空调试,电子枪腔内真空度为5.6×10 -10Pa,满足其极高真空设计要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李小平	中国科学院高能物理研究所	26	392	10.0	19.0
2	王九庆	中国科学院高能物理研究所	15	39	3.0	5.0
3	刘佰奇	中国科学院高能物理研究所	9	3	1.0	1.0
4	彭晓华	中国科学院高能物理研究所	10	15	3.0	3.0