ALON高陡度薄壁保形非球面的超精密磨削工艺

• 作者: 于欣 孙金霞 张春雨 王金虎 赵清亮 郭兵 陈洪许
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 高陡度薄壁结构 保形非球面 ALON 超精密磨削 夹具设计
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 93-99
• 页数: 7页
• 分类号: TG580
• 字数: 2914字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20172501.0093

摘要

为了实现新型红外陶瓷ALON高陡度薄壁保形非球面的超精密磨削加工,首先根据ALON的材料属性和高陡度薄壁保形非球面的结构特性,进行了其超精密磨削加工工艺性分析,并基于有限元计算方法,完成了面向ALON高陡度薄壁保形非球面的精密夹具的设计以及关键参数的优化.然后完成了ALON的超精密磨削工艺实验,工艺实验结果表明减小工件转速和砂轮粒度都会降低ALON的平均表面粗糙度Ra值,但砂轮粒度对磨削后ALON的表面粗糙度影响更显著.最后实现了ALON高陡度薄壁保形非球面的超精密磨削加工,磨削后的ALON高陡度薄壁保形非球面的面形精度PV值为2μm,表面粗糙度Ra值可达8.6 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵清亮	哈尔滨工业大学机电工程学院精密工程研究所	74	849	16.0	24.0
2	于欣	哈尔滨工业大学航天学院光电子技术研究所	25	137	8.0	10.0
3	郭兵	哈尔滨工业大学机电工程学院精密工程研究所	18	207	9.0	14.0
4	孙金霞		8	29	4.0	5.0
5	张春雨	哈尔滨工业大学机电工程学院精密工程研究所	13	72	6.0	8.0
6	王金虎	哈尔滨工业大学机电工程学院精密工程研究所	6	33	4.0	5.0
7	陈洪许		4	32	4.0	4.0