基于ZMD31150的扩散硅传感器一体化设计及其应用

• 作者: 彭成庆 毛良明 焦祥锟
• 来源期刊: 仪表技术
• 学科: 工学
• 关键词: 温度补偿 非线性修正 扩散硅传感器
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 所属期刊栏目: 传感器与变送器
• 页码范围: 44-46
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文

摘要

为了解决扩散硅传感器补偿和信号调理等方面存在的问题,提出了一种基于ZMD31150的扩散硅传感器一体化应用.通过专用的传感器结构、信号调理电路及信号校准系统,解决了扩散硅传感器的补偿和信号调理中存在的问题,实现了对扩散硅传感器的数字补偿和非线性修正.实验结果表明:该传感器简化了测量电路设计,实现了传感器信号输出佚级,极大地提高扩散硅传感器的应用.