傅里叶变换红外光谱测量熔石英中宽范围的Si―OH含量

• 作者: 周江宁 李斌成
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 傅里叶变换红外光谱 熔石英 Si―OH 测量动态范围
• 年，卷（期）: 2017,（10）
• 所属期刊栏目: 光电进展
• 页码范围: 997-1003
• 页数: 7页
• 分类号: O433.1
• 字数: 5483字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2017.10.008

摘要

傅里叶变换红外光谱法被广泛应用于融石英Si―OH含量测量中.然而,低Si―OH含量下水吸收峰的干扰和高Si―OH含量下吸收峰饱和限制了测量范围.使用傅里叶变换红外光谱法测量不同Si―OH含量和厚度的熔石英样品在2500 cm-1~5000 cm-1波段的透过率,消除水分子吸收带对3673 cm-1波数Si―OH吸收峰的干扰;分别使用3673 cm-1和4522 cm-1峰对不同样品的Si―OH含量、均方根误差,以及3673 cm-1和4522 cm-1峰的检测限进行计算.结合实验结果和比尔定律,建立Si―OH浓度、样品厚度、测量透过率误差与测量浓度误差之间的关联模型.根据模型,在2 mm厚度时使用3673 cm-1吸收峰测量Si―OH含量小于8.17×10-4的样品,使用4522 cm-1弱吸收峰测量Si―OH含量大于8.17×10-4的样品,可优化测量精度和扩大测量动态范围,实现2 mm厚度时熔石英(0.4~10000)×10-6大范围Si―OH含量测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周江宁	中国科学院光电技术研究所	47	314	10.0	16.0
5	李斌成	中国科学院光电技术研究所	45	325	10.0	15.0