铒离子注入氮化镓的光学活性与缺陷掺杂变化

• 作者: 孙煜东 成枫锋 李琳 迟林翔 陈田祥
• 来源期刊: 北京师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 材料改性 氮化镓 离子注入 拉曼光谱 RBS
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 页码范围: 528-531
• 页数: 4页
• 分类号: O77+4
• 语种: 中文
• DOI: 10.16360/j.cnki.jbnuns.2017.05.004

摘要

对100 keV、1×1015 cm-2的Er离子注入的GaN退火样品的各项性质进行研究,采取光致发光(室温)、拉曼光谱和卢瑟福背散射对不同的退火样品的微观结构和光学性质进行研究.在退火样品中,均观测到了在1 539 nm附近的PL峰.随着退火温度的升高,PL峰强在900℃时达到最大值.RBS结果显示随着温度的升高,Er离子不断扩散,且有部分在表面析出,导致在光学活性位置上的Er离子减少,使PL强度在更高温度下减弱.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	迟林翔	北京师范大学射线束与材料改性教育部重点实验室北京师范大学核科学与技术学院	1	0	0.0	0.0
5	陈田祥	中国科学院高能物理研究所	3	0	0.0	0.0
6	李琳		6	0	0.0	0.0
7	成枫锋	北京师范大学射线束与材料改性教育部重点实验室北京师范大学核科学与技术学院	1	0	0.0	0.0