模拟浮法在线工艺制备多功能TiN镀膜玻璃

• 作者: 姜宏 张振华 王琦 赵会峰 鲍思权
• 来源期刊: 材料科学与工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: CVD镀膜工艺 化学气相沉积法 多功能镀膜玻璃 阻隔紫外线 反射红外线
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 752-756,847
• 页数: 6页
• 分类号: TQ171.73
• 字数: 2823字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14136/j.cnki.issn 1673-2812.2017.05.013

摘要

本文模拟浮法玻璃在线CVD镀膜工艺,利用常压化学气相沉积小型镀膜机,以TiCl4和NH3作为反应物前驱体,成功地在玻璃表面镀制一层TiN薄膜,获得了具有高阻隔紫外及反射红外的多功能镀膜玻璃.对其性能进行分析显示:随着反应物NH3流量的增加,TiN薄膜阻隔紫外线的性能逐渐提高,在近红外区的Drude型反射区域有所缩小,但其在高频近红外波段的反射率有所提高.当NH3达到300sccm时,能够完全阻隔低于380nm的紫外线波段,反射红外线效果良好.随着基板移动速率的增大,在一定程度内可以提高薄膜对近红外线的反射能力,但阻隔紫外线的性能逐渐降低.