分光光度法对三氯氢硅中磷含量的检测

• 作者: 张卿成 黄国强
• 来源期刊: 化学工程
• 学科: 工学
• 关键词: 三氯化磷 实验室检测 分光光度法 钼酸铵
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 所属期刊栏目: 化工过程检测
• 页码范围: 66-69
• 页数: 4页
• 分类号: TQ016.1
• 字数: 2327字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9954.2017.01.014

摘要

磷在三氯氢硅中以三氯化磷形式存在,现在企业上使用检测手段通常为ICP-MS,此检测方法灵敏度高,检出质量浓度也可以达到μg/L,但是,运用此法必须对三氯氢硅原溶液进行预处理,因为三氯氢硅具有极强的腐蚀性,否则会损坏检测设备.另外,此检测设备价格昂贵,不适用于实验室普通大量检测,但是实验室常用检测磷质量浓度可以达到mg/L,故探讨出一种检测磷的常规方法——钼酸铵分光光度法,该法操作方便、设备廉价,且有足够的精度,有望得到工业应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄国强	天津大学化工学院	95	1000	18.0	25.0
2	张卿成	天津大学化工学院	1	0	0.0	0.0