基于动力学标度法的a-C:H薄膜表面微观形貌的演变机理研究

• 作者: 何小珊 何智兵 刘磊 唐永建 张玲 艾星 陈果
• 来源期刊: 原子能科学技术
• 关键词: a-C:H薄膜 表面粗糙度 分形维数 原子力显微镜 扫描电子显微镜
• 年，卷（期）: 2017,（4）
• 所属期刊栏目: 技术及应用
• 页码范围: 740-746
• 页数: 7页
• 分类号: O55
• 语种: 中文
• DOI: 10.7538/yzk.2017.51.04.0740

摘要

采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法在Si(111)基底上制备a-C:H薄膜,利用原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微镜(SEM)对a-C:H薄膜的表面形貌与表面粗糙度进行表征,并从动力学标度法角度出发讨论a-C:H薄膜表面粗糙度的演变机理.研究结果表明:a-C:H薄膜表面微观形貌为自仿射分形表面,可用分形维数来评价薄膜的表面粗糙度;随着H2流量的增加,薄膜表面粗糙度先减小后增大,在T2B与H2流量比为0.2/6时,a-C:H薄膜的表面粗糙度Rq为2.2 nm,相对于其他条件下生长的薄膜的表面粗糙度低,薄膜表面较光滑,致密性良好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张玲	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	39	88	5.0	7.0
2	何智兵	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	46	212	7.0	11.0
3	艾星	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	2	1	1.0	1.0
4	陈果	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	6	6	1.0	2.0
5	何小珊	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	15	26	4.0	4.0
6	刘磊	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	3	7	2.0	2.0