基于数据处理的高精度温压复合传感器的研究与设计

• 作者: 曹勇全 程文进 谢锋
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 温压一体传感器 数据处理 误差修正 曲线簇插值
• 年，卷（期）: 2017,（12）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 1845-1849
• 页数: 5页
• 分类号: TPS212
• 字数: 2982字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2017.12.011

摘要

为了满足航天测量领域重量轻精度高的测量要求,传感器仅用单个扩散硅压力敏感探头,实现温度和压力的复合测量.通过测量敏感探头恒流激励模式多温度点多压力点下的桥电压作为原始标定数据.数据处理过程抓住主要影响因子来拟合输入输出变量函数.然后采用直线或曲线族的插值的误差修正方式来降低拟合误差.传感器压力综合精度从1.13%FS提高到0.05%FS的综合精度,温度综合精度从2.06%FS提高到0.05%FS的综合精度,最终满足用户0.05%FS综合精度的技术指标要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程文进	中国电子科技集团公司第四十八研究所	8	3	1.0	1.0
2	曹勇全	中国电子科技集团公司第四十八研究所	5	1	1.0	1.0
3	谢锋	中国电子科技集团公司第四十八研究所	4	5	2.0	2.0