粉体及制备工艺对IGZO靶材致密度及形貌的影响

• 作者: 余志明 周贤界 王继民 许积文 魏秋平
• 来源期刊: 材料热处理学报
• 学科: 工学
• 关键词: IGZO靶材 共沉淀 球磨混合 烧结工艺 致密化
• 年，卷（期）: 2017,（7）
• 所属期刊栏目: 材料研究
• 页码范围: 16-22
• 页数: 7页
• 分类号: TB34|TB321
• 字数: 4213字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13289/j.issn.1009-6264.2017-0064

摘要

分别用化学共沉淀粉和单元氧化物混合粉为原料烧结制备In2Ga2ZnO7(IGZO)靶材,对比研究了煅烧温度、烧结温度、烧结气氛、保温对靶材烧结致密度和微观结构的影响.结果表明,混合粉比共沉淀粉更容易促进烧结致密化,但通过选择合适的煅烧温度和烧结工艺,两种原料粉均可获得密度高于99.5％的IGZO靶材.靶材烧成前1100℃保温效果最好,最佳烧成温度区间为1400 ～1450℃.共沉淀粉优选煅烧温区为900 ～1050℃,烧结时对氧气气氛更敏感;混合粉优选煅烧温区为750～ 900℃,且在氧气气氛下烧结优于空气.此外,共沉淀粉烧结体晶粒均匀分布、晶界清晰,而混合粉的烧结体表面晶界模糊,呈“网格状”和“层状”形貌.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余志明	中南大学材料科学与工程学院	80	689	15.0	21.0
2	许积文	中南大学材料科学与工程学院	68	171	6.0	10.0
4	魏秋平	中南大学材料科学与工程学院	35	149	7.0	9.0
5	周贤界	中南大学材料科学与工程学院	2	6	2.0	2.0
8	王继民		1	2	1.0	1.0