Quanta 400F扫描电子显微镜的故障分析与保养维护

• 作者: 姚丽娟 朱满 金耀华 靳长清 龙伟
• 来源期刊: 理化检验-物理分册
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描电镜 故障分析 保养维护
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 所属期刊栏目: 试验设备及应用
• 页码范围: 120-122
• 页数: 3页
• 分类号: TQ174
• 字数: 2633字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11973/lhjy-wl201702011

摘要

Quanta 400F扫描电镜为常规的大型精密仪器,在运行过程中常常会出现各种设备故障.做好扫描电镜日常管理工作,可提高其各部件的使用寿命.主要介绍了该扫描电镜一些常见的故障及排除方法,包括冷却循环系统故障和真空系统故障;另外还介绍了扫描电镜易耗损件的保养维护措施,包括灯丝和物镜光阑的保养及维护.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金耀华	西安工业大学材料与化工学院	31	154	7.0	11.0
2	龙伟	西安工业大学材料与化工学院	28	53	4.0	5.0
3	朱满	西安工业大学材料与化工学院	45	117	7.0	8.0
4	靳长清	西安工业大学材料与化工学院	7	15	3.0	3.0
5	姚丽娟	西安工业大学材料与化工学院	12	18	2.0	4.0