辉光放电发射光谱在材料成分-深度分析中的应用

• 作者: 劳珏斌 庄素娜 林伟轩 梁家伟 王江涌 简玮 韩逸山
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 辉光放电发射光谱 深度剖面分析 薄膜 涂层 MRI模型
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 页码范围: 39-46
• 页数: 8页
• 分类号: TB44|TB43
• 字数: 7084字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2017.05.10

摘要

本文首先对辉光放电发射光谱(Glow Discharge Optical Emission Spectrometry-GDOES)基本原理做了简单评述,重点说明了对测量的材料成分-深度实验数据的定量分析.随后介绍了GDOES在材料表面、薄膜和涂层等领域的应用.最后给出了利用MRI模型对GDOES深度剖析数据定量分析的实例.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王江涌	汕头大学物理系	22	34	3.0	4.0
2	劳珏斌	汕头大学物理系	2	7	2.0	2.0
3	韩逸山	汕头大学物理系	4	9	2.0	2.0
4	梁家伟	汕头大学物理系	2	6	1.0	2.0
5	庄素娜	汕头大学物理系	2	6	1.0	2.0
6	林伟轩	汕头大学物理系	1	5	1.0	1.0
7	简玮	汕头大学物理系	5	9	2.0	3.0