高性能钆铝锌氧薄膜晶体管的制备

• 作者: 张兴 张盛东 李慧津 王漪 董俊辰 郁文 韩德栋
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 工学
• 关键词: 钆铝锌氧 薄膜晶体管 有源层
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 339-343
• 页数: 5页
• 分类号: TN405
• 字数: 1831字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/YJYXS20173205.0339

摘要

本文研究并制备了钆铝锌氧薄膜和以钆铝锌氧为有源层的薄膜晶体管.钆铝锌氧薄膜材料的光致发光光谱和透过率说明钆铝锌氧薄膜在透明显示方向的应用潜力.透射电子显微镜揭示了钆铝锌氧薄膜的非晶态微观结构.钆铝锌氧薄膜晶体管显示了良好的转移特性和输出特性.器件开关比大于105、饱和迁移率约为10 cm2·V-1·s-1.实验结果表明,钆铝锌氧薄膜可用作氧化物薄膜晶体管的有源层材料;钆铝锌氧薄膜晶体管可作为像素电路的驱动器件.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张兴	北京大学微电子学研究院	120	618	12.0	20.0
2	韩德栋	北京大学微电子学研究院	11	86	5.0	9.0
3	王漪	北京大学微电子学研究院	7	44	3.0	6.0
4	张盛东	北京大学微电子学研究院	13	47	4.0	6.0
8	李慧津	北京大学微电子学研究院	3	2	1.0	1.0
9	董俊辰	北京大学微电子学研究院	3	2	1.0	1.0
10	郁文	北京大学微电子学研究院	3	2	1.0	1.0