磁控溅射法制备的CdS∶Al薄膜的性质研究

• 作者: 任胜强 冯良桓 张家远 武莉莉 王佛根 陈蕴璐
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: CdS∶Al薄膜 射频磁控溅射 CdTe太阳电池
• 年，卷（期）: 2017,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 413-417
• 页数: 5页
• 分类号: TQ174
• 字数: 3274字
• 语种: 中文
• DOI: 10.15541/jim20160357

摘要

采用Al和CdS双靶共溅射的方法,调控Al和CdS源的沉积速率,制备出不同Al掺杂浓度的CdS∶Al薄膜.通过XRD、SEM、AFM、紫外-可见透射光谱分析、常温霍尔测试对CdS∶ Al薄膜的结构、形貌、光学和电学性质进行表征.XRD结果表明,不同Al掺杂浓度的CdS∶Al薄膜均为六方纤锌矿结构的多晶薄膜,并且在(002)方向择优生长.SEM和AFM结果表明,CdS∶Al薄膜的表面均匀致密,表面粗糙度随着Al掺杂浓度的增加略有增加.紫外-可见透射光谱分析表明,CdS∶Al薄膜禁带宽度在2.42～2.46 eV之间,随着Al掺杂浓度的增加而略微减小.常温霍尔测试结果证明,掺Al对CdS薄膜的电学性质影响显著,掺Al原子浓度3.8％以上的CdS薄膜,载流子浓度增加了3个数量级,电阻率下降了3个数量级.掺Al后的CdS薄膜n型更强,有利于与CdTe形成更强的内建场,从而提高太阳电池效率.用溅射方法制备的CdS∶Al薄膜的性质适合用作CdTe薄膜太阳电池的窗口层.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯良桓	四川大学材料科学与工程学院	78	424	10.0	17.0
2	武莉莉	四川大学材料科学与工程学院	56	217	8.0	13.0
3	任胜强	四川大学材料科学与工程学院	4	6	2.0	2.0
4	王佛根	四川大学材料科学与工程学院	1	1	1.0	1.0
5	陈蕴璐	四川大学材料科学与工程学院	1	1	1.0	1.0
6	张家远	四川大学材料科学与工程学院	1	1	1.0	1.0