溅射功率对Zn1-xMgxO薄膜性能的影响

• 作者: 李东临 李合增 王怡 赵昶 邢光建 郭瑞 马海玲
• 来源期刊: 真空
• 学科: 化学
• 关键词: 射频磁控溅射 Zn1-xMgxO薄膜 透射谱 光致发光谱
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 页码范围: 31-34
• 页数: 4页
• 分类号: O614.41|TB43|O484
• 字数: 3373字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2017.05.08

摘要

用射频磁控溅射制备Zn1-xMgxO薄膜,通过对不同溅射功率制备的薄膜结构和薄膜的室温透射谱和光致发光光谱的分析,得到溅射功率对薄膜结构和形貌的和光学性能的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王怡	北京石油化工学院数理系	23	121	6.0	10.0
2	邢光建	北京石油化工学院数理系	30	127	6.0	11.0
3	李合增	北京石油化工学院数理系	11	57	4.0	7.0
4	郭瑞	北京石油化工学院数理系	7	15	2.0	3.0
5	李东临	北京石油化工学院数理系	11	30	3.0	5.0
6	赵昶	北京石油化工学院数理系	4	2	1.0	1.0
7	马海玲		5	7	2.0	2.0