高精度电子束光刻技术在微纳加工中的应用

• 作者: 孙锋 尤春 王兴平 胡超
• 来源期刊: 电子与封装
• 学科: 工学
• 关键词: 电子束光刻 微纳加工 纳米电子器件
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 所属期刊栏目: 微电子制造与可靠性
• 页码范围: 28-32,36
• 页数: 6页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 2578字
• 语种: 中文

摘要

对电子束光刻系统的原理以及在微纳加工领域的应用进行了讨论.首先对光刻系统的工作原理进行了阐述.然后讨论了电子束光刻的关键工艺,如光胶的选择、剥离工艺的优化以及邻近效应对图形的影响及修正方法.由于电子束光刻在科研领域展现了巨大的潜力,因此吸引了许多学者的注意.最后,举例介绍了电子束光刻在生物医学和硅光电子上的应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙锋		10	42	4.0	6.0
2	胡超		5	11	2.0	3.0
3	尤春		7	14	2.0	3.0
4	王兴平		1	9	1.0	1.0