基于放电概率检测的硅晶体电火花线切割加工伺服控制研究

• 作者: 刘志东 潘红伟 罗福源 贺笑笑 邱明波
• 来源期刊: 电加工与模具
• 学科: 工学
• 关键词: 硅晶体 电火花线切割加工 放电概率检测 伺服控制
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 所属期刊栏目: 设计·研究
• 页码范围: 25-30
• 页数: 6页
• 分类号: TG661
• 字数: 5329字
• 语种: 中文

摘要

针对往复走丝电火花线切割加工硅晶体时,无法准确判别其极间加工状态、伺服进给速度不能实时响应加工状态变化的问题,提出了一种基于放电概率检测的采样方法,设计并搭建了硅晶体电火花线切割加工伺服控制系统.通过工艺验证证明该伺服控制系统能显著提高硅晶体电火花线切割加工的表面质量、效率及形状精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘志东	南京航空航天大学机电学院	229	1912	22.0	29.0
2	邱明波	南京航空航天大学机电学院	78	554	13.0	20.0
3	罗福源	南京航空航天大学机电学院	34	144	5.0	11.0
4	潘红伟	南京航空航天大学机电学院	2	7	2.0	2.0
5	贺笑笑	南京航空航天大学机电学院	1	3	1.0	1.0