Mirau干涉型微纳台阶高度测量系统的研究

• 作者: 张树 施玉书 李东升 李适 皮磊 郭鑫 高思田
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 Mirau干涉 微纳台阶高度测量 三维表面形貌测量 白光显微干涉 光学显微镜
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 页码范围: 141-144
• 页数: 4页
• 分类号: TB92
• 字数: 2097字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2017.02.03

摘要

为了实现纳米量级到微米量级的微观三维台阶样板高度的快速测量,在普通光学显微镜的基础上改造完成了一台微纳台阶高度测量装置,设计了整体硬件结构,编写了测量控制软件和数据处理软件,并结合Hilbert变换和小波变换实现三维表面形貌测量.使用不同高度的台阶样品进行测试,测试结果表明:系统测量准确度较高,测量重复性较好,垂直测量范围大于50 μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李东升	中国计量大学计量测试工程学院	176	977	16.0	19.0
2	高思田		93	567	11.0	19.0
3	施玉书		35	121	5.0	8.0
7	李适		11	25	3.0	4.0
8	张树		6	6	1.0	2.0
9	皮磊		4	6	1.0	2.0
10	郭鑫	中国计量大学计量测试工程学院	1	5	1.0	1.0