基于建筑结构探测的微传感器设计

• 作者: 林智雄 邹文平
• 来源期刊: 实验室研究与探索
• 学科: 物理学
• 关键词: 微光机电系统 固支梁 谐振腔 加速度 微传感器
• 年，卷（期）: 2017,（8）
• 所属期刊栏目: 仪器设备研制与开发
• 页码范围: 80-82,86
• 页数: 4页
• 分类号: O433
• 字数: 3299字
• 语种: 中文

摘要

为了改进微光机电系统中加速度集成化差、灵敏度低问题,采用过振保护、稳定性较好固支梁进行加速度传感系统设计.通过环形谐振腔和直波导耦合的方式实现微环谐振腔设计,利用控制波导长度参数实现耦合稳定性、强度等调节.理论分析了实现光强谐振、光放大的过程,固定的固支梁系统,得到了微环谐振腔波长,模型分析得出通过波长变化得到检测微环输出端的光谱变化.传感特性分析表明:微环谐振腔的输出光强谐振峰值高,自由频范围明显小,有利于测量高精度变化量;加速度变化量与输出光谱表现为线性关系,设计的加速度传感系统灵敏度可以达到50 pm/g.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邹文平	福建农林大学交通与土木工程学院	14	46	4.0	6.0
2	林智雄	福建农林大学交通与土木工程学院	8	29	3.0	5.0