高纯硅烷的制备方法研究

• 作者: 刘海霞
• 来源期刊: 无机盐工业
• 关键词: 高纯硅烷 分子筛 精馏
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 所属期刊栏目: 工业技术
• 页码范围: 54-56
• 页数: 3页
• 分类号: TQ127.2
• 语种: 中文

摘要

分析了国内外硅烷的研究概况,并结合多氟多化工股份有限公司研究开发的高纯硅烷制备的工艺过程,重点分析了实验原料、实验方法、工艺流程、工艺关键点和工艺特点等,简要对比了该工艺制备的高纯硅烷与国外(美国、白俄罗斯等)所用标准的差异.指出高纯度硅烷作为电子化工材料、光电子、微电子产业的重要支撑材料之一,其应用领域广泛,发展空间巨大.该工艺产品能耗相对较低,可进行工业应用的推广.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘海霞		27	95	5.0	8.0