一种压强稳定的多级真空差分系统

• 作者: 刘俊男 吴仁智 薛松 薛超凡 陈家华
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 自由电子激光器 光束线 真空差分 压强反馈调节
• 年，卷（期）: 2017,（10）
• 所属期刊栏目: 真空技术与理论
• 页码范围: 951-956
• 页数: 6页
• 分类号: TB7|TB753
• 字数: 3563字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2017.10.03

摘要

上海光源软X射线自由电子激光器光束线主要用于X射线的传输与诊断,为了减少光子吸收,其传输环境须为无窗洁净的超高真空系统.气体通量衰减器和气体探测器是光束线诊断区域的关键设备,二者均需要充入一定量的气体,且工作精度依赖于气体压强的稳定度.文中介绍了一种具有压强反馈调节功能的多级真空差分系统直接过渡至其他超高真空设备,可在2.5 m内实现7个量级以上的差分比.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	薛松	中国科学院上海应用物理研究所	49	210	8.0	12.0
2	陈家华	中国科学院上海应用物理研究所	5	35	2.0	5.0
3	吴仁智		35	184	7.0	11.0
4	薛超凡	中国科学院上海应用物理研究所	2	3	1.0	1.0
5	刘俊男		5	5	1.0	2.0