基于LTCC技术的无源气压传感器研制

• 作者: 刘红雨 李俊 李姗泽 王颖麟
• 来源期刊: 电子与封装
• 学科: 工学
• 关键词: LTCC 内埋型腔体 气压传感器
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 所属期刊栏目: 封装、组装与测试
• 页码范围: 5-7,15
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 字数: 2027字
• 语种: 中文

摘要

介绍基于LTCC技术的无源气压传感器的基本原理和理论模型,主要制作工艺流程和关键工艺难点.研究了LTCC内埋型空腔的实现方法、牺牲层材料的选取和依据,并对无源气压传感器的理论模型进行仿真分析与实际测试.结果表明利用LTCC内置空腔技术研制的气压传感器测试结果与仿真分析吻合较好,谐振频率随外界压力的增大而减小,谐振频率随压力的变化近似于线性变化,在复杂环境内依然能够实现预期功能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李俊	中国电子科技集团公司第二研究所	38	117	4.0	9.0
2	王颖麟	中国电子科技集团公司第二研究所	7	23	3.0	4.0
3	刘红雨	中国电子科技集团公司第二研究所	2	0	0.0	0.0
4	李姗泽	中国电子科技集团公司第二研究所	3	3	1.0	1.0