具有混合晶圆流的单臂组合设备建模及调度

• 作者: 潘春荣 王际鹏 黎良
• 来源期刊: 现代制造工程
• 学科: 工学
• 关键词: 组合设备 Petri网 建模 调度 晶圆制造
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 29-34
• 页数: 6页
• 分类号: TN305
• 字数: 5351字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16731/j.cnki.1671-3133.2017.01.006

摘要

为有效提高组合设备利用水平与工作效率,研究在单臂组合设备上实现不同种类晶圆混合加工的问题.建立独立于具体晶圆流的单臂组合设备Petri网模型,该模型能准确描述不同晶圆流模式下系统的运行过程.基于拉式调度策略和周期调度的思想,推导出单臂组合设备在混合晶圆流下能形成稳定周期性加工的条件.然后依据约束条件建立系统的线性规划模型,获得稳态的周期调度.运用虚拟晶圆方法实现所得调度,并给出调度的甘特图.最后,以晶圆制造的数据作为算例验证了模型和调度的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	潘春荣	江西理工大学机电工程学院	24	99	7.0	9.0
2	黎良	江西理工大学机电工程学院	6	24	3.0	4.0
3	王际鹏	江西理工大学机电工程学院	2	11	2.0	2.0