蓝宝石衬底上PECVD生长石墨烯及其气敏传感器

• 作者: 何泽召 冯志红 刘庆彬 李娴 蔚翠 蔡树军 谢丹
• 来源期刊: 化工学报
• 关键词: 石墨烯 吸附 膜 测量 甲醛 曝气
• 年，卷（期）: 2017,（11）
• 所属期刊栏目: 材料化学工程与纳米技术
• 页码范围: 4423-4427
• 页数: 5页
• 分类号: TQ127.1+1
• 语种: 中文
• DOI: 10.11949/j.issn.0438-1157.20170331

摘要

在蓝宝石衬底上,利用PECVD在相对较低的温度和相对短的时间制备石墨烯.实验发现,在950℃,生长15 min,可制备纳米晶石墨烯.所制备的石墨烯为双层结构,存在较多的缺陷,使得其适合用于制作气敏传感器.制作的纳米晶石墨烯气敏传感器对甲醛气体显示出良好的响应和恢复特性.分析发现纳米晶石墨烯中大量的晶界和褶皱使气体的吸附和解吸附能垒降低是其表现出良好气敏特性的主要原因.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蔡树军	河北半导体研究所专用集成电路重点实验室	7	25	3.0	5.0
2	冯志红	河北半导体研究所专用集成电路重点实验室	6	13	3.0	3.0
3	谢丹	清华大学微电子所	12	45	4.0	6.0
4	蔚翠	河北半导体研究所专用集成电路重点实验室	2	8	1.0	2.0
5	何泽召	河北半导体研究所专用集成电路重点实验室	2	8	1.0	2.0
6	刘庆彬	河北半导体研究所专用集成电路重点实验室	2	8	1.0	2.0
7	李娴	清华大学微电子所	2	2	1.0	1.0