低能粒子束技术中尺寸效应的分子动力学研究

• 作者: 周兵 张文栋 李刚 李廷鱼 柴晶 桑胜波 邓宵 陈泽华 魏也
• 来源期刊: 中北大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 粒子束技术 统计热力学 分子动力学 尺寸效应
• 年，卷（期）: 2017,（6）
• 所属期刊栏目: 机械与动力工程
• 页码范围: 616-622
• 页数: 7页
• 分类号: O411.3
• 字数: 3731字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-3193.2017.06.011

摘要

采用分子动力学方法复现了铜团簇粒子束注入硅基底的动力学过程.基于平衡态的统计热力学理论,建立了单一粒子注入过程的数值模拟模型,系统研究了影响注入过程的相关参数,详细对比和讨论了粒子尺寸(数量)、初始注入能量和角度的影响.同时,使用可视化方法记录分析了界面处纳观相变过程,给出了注入率与各参数的线性函数关系,揭示了低注入能量域内的新特征和内在机理.所得模拟结果和相关数据为纳米尺度的功能器件设计、加工和性能分析提供了有效参考和理论依据.