基于相移干涉仪的平面度测量软件设计

• 作者: 王青 石慧 顾洋
• 来源期刊: 计测技术
• 学科: 工学
• 关键词: 平面度 相移干涉 标准平晶 研磨面平尺
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 所属期刊栏目: 理论与实践
• 页码范围: 7-11
• 页数: 5页
• 分类号: TB92
• 字数: 2807字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11823∕j.issn.1674-5795.2017.05.02

摘要

以相移干涉法测出的点阵波面数据为基础,设计了计量用平面度测试软件FlatEx,包括标准平晶的绝对检验、 研磨面平尺的斜入射测量和子孔径拼接及三个功能算法模块.通过与等倾干涉仪检定过程的比较,从理论上说明从密集点阵数据中提取稀疏点数据的合理方法,以符合规程的要求或约定俗成的做法.程序已经用于处理MatroPro和PhaseOne等多种相移干涉仪数据,提取出符合要求的平面度结果.在相移干涉仪与等倾干涉仪检定结果进行比对实验中,表现出良好的一致性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王青		39	323	10.0	16.0
2	顾洋		5	6	2.0	2.0
3	石慧		2	2	1.0	1.0