缓冲质子源LiNbO3波导折射率计算及实验

• 作者: 余才佳 熊恒 王健 纪引虎 闫鑫
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 集成光学 退火质子交换 铌酸锂波导 折射率分布
• 年，卷（期）: 2017,（4）
• 所属期刊栏目: 材料、结构及工艺
• 页码范围: 546-550,556
• 页数: 6页
• 分类号: TN252
• 语种: 中文
• DOI: 10.16818/j.issn1001-5868.2017.04.017

摘要

为实现铌酸锂退火质子交换(APE)波导折射率分布的准确计算,选择含苯甲酸锂的苯甲酸缓冲液作为质子交换质子源,高温退火制作了波导样本.针对该工艺过程建立退火质子交换波导模型,包括非线性扩散模块和光学数值仿真模块,分别计算APE波导折射率及其模式有效折射率.以测得的样本波导模式有效折射率和计算的有效折射率差的均方根构建评价函数(FOM),结合遗传算法提取该工艺条件下质子扩散参数,实现了不同交换深度和退火时间波导折射率分布及其光学特性的一体化计算.实验表明:FOM小于0.001,计算折射率分布同IWKB方法测得结果吻合较好,最大偏差约0.002.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王健	中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所	10	40	4.0	6.0
2	余才佳	中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所	4	12	2.0	3.0
3	纪引虎	中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所	2	5	1.0	2.0
4	熊恒	中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所	1	1	1.0	1.0
5	闫鑫	中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所	1	1	1.0	1.0