基于MEMS工艺的微机械失效分析研究进展

• 作者: 张九娥 王振禄 董丽梅
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统(MEMS) 可靠性 失效形式 失效机理 失效预防
• 年，卷（期）: 2017,（7）
• 所属期刊栏目: 趋势与展望
• 页码范围: 481-488
• 页数: 8页
• 分类号: TP202.1|TN303
• 语种: 中文
• DOI: 10.13290/j.cnki.bdtjs.2017.07.001

摘要

随着微电子机械系统(MEMS)消费市场的不断增长,微器件的可靠性问题将是未来数年MEMS研究面临的新挑战.针对国内外近年来在微机械失效方面的主要研究内容,综述了基于MEMS工艺微机械的主要失效形式、失效机理和失效预防措施的最新研究成果和主要研究方法,着重总结了微机械的断裂、疲劳、磨损、黏附和蠕变等失效形式,并分析了这些失效形式对微器件的功能和性能的影响以及对这些失效的预防措施,通过结构优化、器件设计和加工质量控制等措施可降低失效的发生,提高可靠性.最后总结了微机械失效分析中存在的主要问题和以后的发展方向,提出建立通用的失效预测模型、标准的可靠性测试方法是未来微机械失效分析的研究重点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王振禄	兰州城市学院石油工程学院	11	25	3.0	4.0
2	董丽梅	兰州城市学院石油工程学院	10	8	2.0	2.0
3	张九娥	兰州城市学院石油工程学院	2	1	1.0	1.0