MPCVD金刚石膜的品质对其在K-Ka波段微波介电性能的影响

• 作者: 丁明辉 刘艳青 唐伟忠 李义峰 苏静杰
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: MPCVD金刚石膜 拉曼光谱 品质 分体圆柱谐振腔 介电性能 K-Ka波段
• 年，卷（期）: 2017,（4）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 32-36
• 页数: 5页
• 分类号: TQ174
• 字数: 3815字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2017.04.006

摘要

针对MPCVD金刚石膜K-Ka波段(18～40 GHz)微波电子器件领域的应用需求,以及探索金刚石膜介电性能与品质之间的关系的需要,制备了5个金刚石膜样品,并建立了一套K波段分体圆柱谐振腔微波介电性能测试装置.使用Raman光谱袁征金刚石膜质量,采用K波段分体圆柱谐振腔测量金刚石膜的介电性能,并与Ka波段的结果进行比较.结果表明,不同品质的样品介电损耗在3.8× 10-5～76.8×10-5范围内,且介电损耗与Raman半峰宽密切相关.同时,高品质金刚石膜K波段介电损耗高于Ka波段,而低品质的则呈现相反的结果.这是由于高品质金刚石膜介电损耗主要由导电性引起,而低品质金刚石膜内较高的缺陷密度导致单声子声学振动吸收和瑞利散射较大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐伟忠	北京科技大学新材料技术研究院	106	860	16.0	21.0
2	刘艳青	北京科技大学新材料技术研究院	7	61	4.0	7.0
3	苏静杰	北京科技大学新材料技术研究院	4	27	2.0	4.0
5	丁明辉	北京科技大学新材料技术研究院	2	1	1.0	1.0
8	李义峰	北京科技大学新材料技术研究院	1	0	0.0	0.0