气体介质、压强及校准方法对真空漏孔漏率的影响

• 作者: 叶小球 李芳芳 王维 钟博扬 陈长安 高涛
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 漏率 校准 定容法 氦质谱检漏仪 气体介质 压强
• 年，卷（期）: 2017,（12）
• 所属期刊栏目: 真空技术与理论
• 页码范围: 1135-1140
• 页数: 6页
• 分类号: TB77
• 字数: 4041字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2017.12.02

摘要

真空标准漏孔作为标定检漏仪或被测量漏率的参考标准,在核工业、航天航空等领域得到了广泛应用.本文利用氦质谱检漏仪和定容法对标准漏孔(铭牌漏率:2.3×10-6 Pa·m3/s,He,23℃)进行校准,以为快速地定量研究聚变材料中氘(D2)或氦(He)行为提供有用的参考.研究结果表明,漏孔漏率随入口端气体压强的增大而增大,并与漏孔两端气体介质压强的平方差呈线性递增关系.同一入口压强下,D2的漏率高于He,且漏率之间的差异随压强增加而变大.同一条件下,定容法和氦质谱检漏仪测得漏孔中示漏气体He的漏率值基本相等,但示漏气体为D2时,氦质谱检漏仪测得的漏率值高于定容法.研究还给出了氦质谱检漏仪测量示漏气体D2时漏孔漏率的修正关系式.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高涛	四川大学原子与分子物理研究所	71	281	9.0	13.0
2	李芳芳		7	26	2.0	5.0