倒装芯片下填充流动二维化数值分析方法的应用

• 作者: 吴亚军 姚兴军 方俊杰 杨家辉
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 倒装芯片 下填充 数值分析 二维化 可视化
• 年，卷（期）: 2017,（6）
• 所属期刊栏目: 先进封装技术
• 页码范围: 463-468
• 页数: 6页
• 分类号: TN305.94
• 语种: 中文
• DOI: 10.13290/j.cnki.bdtjs.2017.06.011

摘要

下填充流动是确保倒装芯片可靠性的重要封装工艺,其流场和流动过程具有明显的二维特征,通过降维得到的二维化数值分析新方法能高效地模拟下填充流动过程.针对一种焊球非均匀、非满布的典型倒装芯片,用该数值分析方法模拟了单边下填充流动的过程,并用实验对模拟结果进行了检验.实验采用了可视化的下填充流动装置,倒装芯片试样采用硅-玻璃键合(SOG)方法制作.将数值模拟结果与实验结果比较发现,无论是流动速度还是流动前沿的形态,两者均呈现出较高的吻合度.这表明:针对下填充流动的二维化数值分析方法兼具高效性和准确性,具有较高的应用价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚兴军	华东理工大学机械与动力工程学院	16	96	6.0	9.0
2	方俊杰	华东理工大学机械与动力工程学院	3	1	1.0	1.0
3	杨家辉	华东理工大学机械与动力工程学院	3	1	1.0	1.0
4	吴亚军	华东理工大学机械与动力工程学院	1	1	1.0	1.0