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Control of growth and structure of Ag films by the driving frequency of magnetron sputtering
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Control of growth and structure of Ag films by the driving frequency of magnetron sputtering
来源期刊
等离子体科学和技术(英文版)
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年,卷(期)
2017,(8)
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118-124
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等离子体科学和技术(英文版)
主办单位:
中国科学院合肥物质科学研究所
中国力学学会
出版周期:
月刊
ISSN:
1009-0630
CN:
34-1187/TL
开本:
大16开
出版地:
合肥 中国科学院等离子体物理研究所PST编辑部
邮发代号:
创刊时间:
1999
语种:
eng
出版文献量(篇)
3310
总下载数(次)
0
总被引数(次)
5580
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