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篇名 Control of growth and structure of Ag films by the driving frequency of magnetron sputtering
来源期刊 等离子体科学和技术(英文版) 学科
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年,卷(期) 2017,(8) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 118-124
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字数 语种 英文
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等离子体科学和技术(英文版)
月刊
1009-0630
34-1187/TL
大16开
合肥 中国科学院等离子体物理研究所PST编辑部
1999
eng
出版文献量(篇)
3310
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总被引数(次)
5580
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