磁过滤真空阴极电弧技术弧电流对四面体非晶碳薄膜性能的影响

• 作者: 于振华 姜康
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 弧电流 Ta-C薄膜 磁过滤真空阴极电弧技术 表面质量
• 年，卷（期）: 2017,（12）
• 所属期刊栏目: 结构薄膜
• 页码范围: 1206-1211
• 页数: 6页
• 分类号: TB303
• 字数: 3995字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2017.12.14

摘要

研究了磁过滤阴极真空电弧技术中不同弧电流(20~100 A),制备的四面体非晶碳薄膜性能的影响.通过对薄膜厚度、薄膜硬度、表面形貌以及sp3键含量随弧电流的变化结果进行了测试.结果表明,当弧电流从20增大至100 A,表征薄膜sp杂化碳含量的ID/IG从0.212增加到1.18,显示制备薄膜的sp3键含量逐渐减少,同时sp2键在逐渐增加.随着弧电流值上升,薄膜硬度增加,表明其值与弧电流值呈正相关性,高的弧电流使通过磁过滤器的大颗粒等离子体数增加,从而薄膜表面形貌易于沉积大颗粒,导致薄膜表面质量下降.因此,选择合适的弧电流值可优化Ta-C薄膜制备工艺,本文研究内容为工业应用中通过弧电流调整优化膜层综合性能提供参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姜康	合肥工业大学汽车与交通工程学院	50	273	9.0	13.0
2	于振华	合肥工业大学机械工程学院	23	144	7.0	11.0