高成品率DFB激光二极管的设计及制备

• 作者: 刘浩 张坤伟 张晓光 焦梦丽 赵润
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光二极管 光栅 分布反馈(DFB) 传输矩阵法 归一化阈值增益差
• 年，卷（期）: 2017,（6）
• 所属期刊栏目: 半导体器件
• 页码范围: 448-452
• 页数: 5页
• 分类号: TN248.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.13290/j.cnki.bdtjs.2017.06.008

摘要

设计并制作了一种新型分布反馈(DFB)光栅激光二极管结构.采用传输矩阵法模拟得到了不同光栅耦合因子、不同结构下随机相位对归一化阈值增益差和性能参数分布的影响;对高于阈值增益情况下激光二极管的特性进行了分析,结果表明随着激光二极管偏置电流的增加,光场平坦因子和归一化阈值增益差几乎保持不变,激光二极管单模稳定性好;模拟得到了光谱随偏置电流的变化,不同偏置电流下光谱的边模抑制比均大于40 dB.采用全息光刻技术结合普通光刻技术制备了新型DFB光栅.相比于均匀光栅激光二极管,新型DFB光栅激光二极管性能参数一致性更好、成品率更高,成品率达到80％以上.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘浩	中国电子科技集团公司第十三研究所	14	30	3.0	4.0
2	赵润	中国电子科技集团公司第十三研究所	18	45	5.0	5.0
3	张晓光	中国电子科技集团公司第十三研究所	6	26	2.0	5.0
4	张坤伟	中国电子科技集团公司第十三研究所	2	3	1.0	1.0
5	焦梦丽	中国电子科技集团公司第十三研究所	1	1	1.0	1.0