重金属掺杂硅平面外延开关三极管失效分析技术研究

• 作者: 卢健 崔帅 张颖 曹德峰 李志勇 胥佳灵
• 来源期刊: 环境技术
• 学科: 航空航天
• 关键词: 开关三极管 掺杂工艺 航天型号工程 失效分析
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 所属期刊栏目: 技术专栏
• 页码范围: 48-51
• 页数: 4页
• 分类号: V461
• 字数: 1840字
• 语种: 中文

摘要

对航天某型号选用3DK104D型NPN硅外延平面小功率开关三极管补充筛选试验中参数超差问题进行了分析,采用非破坏和破坏性分析相结合的技术,对硅基开关晶体管的失效机理进行了研究,最终得出参数超差属批次性质量问题,予以剔除.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	崔帅		10	28	2.0	5.0
3	胥佳灵		4	4	2.0	2.0
5	张颖		9	6	1.0	1.0
6	曹德峰		8	10	2.0	2.0
12	李志勇		7	11	2.0	2.0