微机械开放式射流陀螺的敏感原理和数值仿真

• 作者: 常兴远 朴林华 朴然 胡永辉
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 射流陀螺 开放式气流通道 MEMS 角速度 热线
• 年，卷（期）: 2017,（10）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 1483-1487
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2605字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2017.10.005

摘要

提出了一种基于开放式气流通道的微机械射流陀螺的设计、敏感原理和数值仿真.敏感元件内部气流的运动采用基于流固耦合的三维瞬态数值分析计算,计算和测试结果表明:①气流在压电泵的驱动下,由开放式气流通道的两个入口进入并汇聚,由喷口喷出并在射流敏感室形成射流敏感体,在入口和出口之间形成定向流动.②射流敏感体在哥氏力的作用下发生偏转,与作为电桥臂的热线发生热量交换,导致电桥输出与输入角速度成正比的不平衡电压.③陀螺灵敏度为SFZ=2.0μV/°/s,非线性度优于0.5%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朴林华	北京信息科技大学北京市传感器重点实验室	64	172	7.0	10.0
2	胡永辉	北京信息科技大学北京市传感器重点实验室	3	0	0.0	0.0
3	常兴远	北京信息科技大学北京市传感器重点实验室	4	0	0.0	0.0
4	朴然	北京工业大学信息学部	2	0	0.0	0.0